为什么纳米分析技术X-Maxn能谱仪晶体面积越大，性能越好

探测器的能量分辨率和低能探测性能不随探测晶体尺寸的变化而变化，这是因为外置FET设计。如果探测器的位置不变，计数率的增加与探测器的面积成正比。所有尺寸的探测器晶体都具有相同优秀的分辨率。

（图为牛津X-Maxⁿ能谱仪不同晶体所测结果）

为什么说晶体尺寸越大越好呢。使用大面积探测器意味着提高图像的质量和分析的准确性，无需为X射线能谱仪（点 击了解详情）分析而改变束流。相同束流下更高的计数率，更短的采集时间，更好的统计性。小的束斑下的可靠分析，更高的空间分辨率，高分辨SEM最佳的分析结果。

能谱仪超大面积探测器是SOD设计的突破，增大的探测面积捕捉较低的计数。

（图为牛津X-Maxⁿ能谱仪探测器）

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