微纳米力学测试技术及其应用

FemtoTools是一家瑞士高科技公司，研发团队依托于瑞士联邦理工学院-机器人与智能系统研究所（ETH-IRIS）Bradley Nelson 教授课题组，为微纳米尺度的机械测试和机器人处理研发超高精度仪器，充分满足半导体技术、微系统开发、材料科学、微型医学和生物技术等领域的挑战性要求。FemtoTools的微纳米力学测试技术（点击了解详情）微机械处理和测量仪器配备高灵敏度的微力传感探头和力传感微钳，这是基于特殊开发的微机电系统（MEMS）的制造工艺成果。其产品及技术以创新系统的无与伦比的灵敏度和准确性重新定义了微米和纳米领域中精确定量研究的标准，迄今已获得多项重要奖项，包括瑞士技术创新大奖、国际机器人与自动化大会颁发的学术贡献奖（ICRA）等。

FemtoTools主要产品有压力传感器探针、纳米移动平台和定位系统、数据采集控制系统等等，可以在光学显微镜、探针台或电镜环境下，结合其独有的微纳力学传感探针或微钳，对样品进行力学性能测试或微纳尺度的操纵。产品已经在生物与生物工程、材料科学、MEMS 表征、微型机械手臂、纳米技术等广为应用，不断为客户创造令人兴奋的新的可能性。

（FT-MTA03微纳米力学测试技术）

微纳米力学测试技术集纳米压痕仪、微拉力仪、轮廓仪和通用微观结构分析仪的功能于一体，其测力范围为±200mN，力学分辨率可达0.5nN（9个数量级），可在三轴方向测量0.1nm至29mm的位移（8个数量级）。FT-MTA03微纳米力学测试技术配置高分辨率显微镜，具有95mm的极高工作距离，可在样品上方180°旋转。微纳米力学测试技术配备3百万像素CMOS USB相机，可选择同轴透镜照明、环形光和漫射背光三种可调LED照明原理。

（FT-NMT03微纳米力学测试技术）

原位SEM/FIB微纳米力学测试技术，是一款可在SEM/FIB中对微纳米材料和结构的力学性能进行原位。直接而准确测量的纳米机器人系统。微纳米力学测试技术集合纳米操作以及力学-电学性能同步测试功能于一体，几乎可满足所有的纳米力学测试需求。

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