能谱仪的评价

评价一台电子能谱仪(点击了解详情)的主要指标是灵敏度和能量分辨率。

能谱仪仪器的灵敏度与多种因素有关，例如样品、激发源、激发面积、能量分析器、入口或出口狭缝、电子探测器、放大器等。为了考察仪器的灵敏度，一般采用Ag3d_5/2峰的计数率表示仪器的整体灵敏度。能谱仪的能量分辨率与样品中被激发的能级的线宽、样品基体、仪器的展宽与X射线的线宽有关，最终谱的宽度应为多种因素卷积的综合结果。一台电子能谱仪的灵敏度和能量分辨率是相互牵制的，即当提高仪器灵敏度要牺牲仪器的分辨率。

考察一台电子能谱仪的质量是一项很复杂的工作，除了灵敏度和能量分辨率外，还需要考察仪器的功能、能谱仪的操作使用、仪器的维护（如真空维护）、数据系统、制样、功能扩展性、荷电中和、离子刻蚀、稳定性、可靠性、精度等等。

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