微纳米力学性能测试及组装系统_纳米结构的操作和装配

伴随着纳米领域研究的飞速发展，以纳米操作为核心的纳米加工制造已经成为纳米科技中最具前瞻性和带动性的重点领域之一。由于纳米尺度制造的难度和限制，从纳米科学到纳米技术以及产业化的过程受到了阻碍，因此有必要对纳米制造基础领域进行研究。

FT-NMT03是基于电子显微镜为平台的纳米操作装备。绝大多数的纳米力学操作需要复杂的样品制备过程，为了使样品制备简单化和人性化，FT-NMT03采用能够感知力的微镊子和不同形状的微力传感探针针尖来实现对微纳结构的精确提取、转移直至将其固定在测试平台上。纳米结构操作和装配实验通常需要将试样置于特定的位置或特定的方向，FT-NMT03系统配备的5轴操作平台可以操纵微力传感探针在扫描电子显微镜的辅助下对样品进行纳米级别的操作和装配。小样品的提取和转移可利用样品与微力传感探针之间的静电吸引力来实现，较大样品的操作和装配可使用FT-G微镊子。

基于SEM微纳操作系统的建立，对二维、三维纳米结构操作，提供了有效的研究方法，为微纳米制造的产业化提供了源源不断的灵感。

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