纳米压痕技术是微纳米力学（点击了解详情）系统当中的一个分支，相比传统的硬度测试，新兴纳米压痕技术的产生很好解决了传统测量的缺陷。
纳米压痕技术也称深度敏感压痕技术，纳米压痕通过计算机程序控制载荷发生连续变化，纳米压痕实时测量压痕深度，纳米压痕特别适用于测量薄膜、涂层等超薄层材料力学性能，可以在纳米尺度上测量材料的力学性质，如载荷-位移曲线、弹性模量、硬度、断裂韧性、应变硬化效应、粘弹性或蠕变行为等。
纳米压痕仪代表品牌是瑞士FemtoTools的微纳米力学测试系统，FemtoTools微纳米力学多样灵活的测试模式能满足用户各种不同的应用和要求,为微观结构分析提供了一套全面完整的解决方案。
（图为瑞士FemtoTools微纳米力学测试系统）
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