等离子体指部分或完全电离的气体，且自由电子和离子所带正、负电荷的总和完全抵消，宏观上呈现中性电。等离子体又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，它广泛存在于宇宙中，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。等离子体可分为两种:高温和低温等离子体。
低温等离子表面处理设备（点击了解详情）的电离率较低，电子温度远高于离子温度，离子温度甚至可与室温相当。所以低温等离子表面处理设备是非热平衡等离子体，低温等离子表面处理设备中存在着大量的、种类繁多的活性粒子，比通常的化学反映所产生的活性粒子种类更多、活性更强，更易于和所接触的材料表面发生反映，因此它们被用来对材料表面进行等离子表面处理设备改性处理。
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