低频等离子清洗机与高频等离子清洗机的比较

40KHz等离子体在能量转化方面优于13.56MHz，前者将更多的能量转化为粒子动能及化学活性，后者在等离子清洗机处理过程中产生的热量比较多，也就是其中很多能量转化为了热能，

所以就降低了粒子的动能及化学活性，等离子清洗机处理的效果就会不理想。13.56MHz等离子清洗机电场的频率振荡较高，相对于40KHz射频等离子清洗机而言电子在转变方向之前的运动距离更短。这意味着在每个运动周期中能够到达器件表面的粒子数量更少，因此表面受到粒子撞击减少，均匀度降低，从而降低了清洗的效率和效果，直接影响产品质量和产量。

（科研用真空等离子清洗机）

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