等离子体表面处理技术的应用

目前，等离子体表面处理技术（点击了解详情）已在材料、微电子、化工、机械及环保等众多学科领域中得到较广泛地应用，并已初步形成一个崭新的工业——等离子体表面处理技术工业。

例如，在材料学科中，采用等离子体表面处理技术物理气相沉积技术和化学气相沉积技术可以合成一些新型功能薄膜材料；在微电子工业中，采用等离子体表面处理技术刻蚀技术可以对超大规模集成电路进行加工；在化工学科中，采用等离子体表面处理技术聚合技术，可以制备出一些高分子薄膜材料。

在环保方面，利用等离子体表面处理技术的各种性质可以对污染物进行无害化处理。

等离子体表面处理技术现在广泛应用于诸多专业领域，而且变得越来越重要。

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