等离子体表面处理的历史发展

气体放电和等离子体物理的主要研究是十九世纪和二十世纪之交开始的。在这个时期朗缪尔和他的同事对气体的放电理论和等离子体做出了重要的贡献，正是他给出了等离子体表面处理（点击了解详情）的概念、等离子体的定义，给了等离子体的名称“plasma”，指出了实验和理论上研究等离子体的方法，首先使用探针对等离子体参数进行了诊断。

到了本世纪的三十年代，等离子体表面处理就成为研究的客体（物质），那时研究等离子体的兴趣主要与发展气体放电仪器（汞弧整流器、充气二极管、三极管[闸流管]、稳压二极管）相关的。五十年代是等离子体表面处理物理发展取得成果最丰硕的年代，那时研究等离子体的主要兴趣是与核聚变研究相关的，至今虽然还没有研制成工业应用的热核反应堆，但等离子体表面处理研究却取得了长足的进步，特别是在研究等离子体表面处理的振荡与不稳定性方面。

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