等离子清洗机的应用

等离子清洗机（点击了解详情）产生等离子体能够对材料表面进行清洗、活化、表面改性等，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。

（TIGRES大气等离子清洗机）

等离子清洗机的最大特点是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。数控技术，自动化程度高；具有高精度的控制装置，时间控制的精度很高；正确的等离子清洗机不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证，现今，无论是高校实验室还是企业生产线都将等离子清洗机做为材料表面处理的最好帮手。

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