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等离子发生器分类汇总

2018-05-04 13:35:27 

1等离子发生器(点击了解详情按等离子焰温度分:

1) 高温等离子体:温度相当于108~109K完全电离的等离子体,如太阳、受控热核聚变等离子体。

2)低温等离子体:

等离子发生器热等离子体:稠密高压(1大气压以上),温度103~105K,如电弧、高频和燃烧等离子体。

等离子发生器冷等离子体: 电子温度高(103~104K)、气体温度低,如稀薄低压辉光放电等离子体、电晕放电等离子体、DBD介质阻挡放电等离子体、索梯放电等离子体等。


真空等离子处理中

2等离子发生器按等离子体所处的状态:

1等离子发生器平衡等离子体:气体压力较高,电子温度与气体温度大致相等的等离子体。如常压下的电弧放电等离子体和高频感应等离子体。

2等离子发生器非平衡等离子体:低气压下或常压下,电子温度远远大于气体温度的等离子体。如低气压下DC辉光放电和高频感应辉光放电,大气压下DBD介质阻挡放电等产生的冷等离子体。

等离子发生器低温等离子体的发生技术

·直流辉光放电等离子发生器

·低频放电等离子体等离子发生器

·高频放电等离子体等离子发生器

·非平衡大气压等离子体放电等离子发生器

·介质阻挡放电等离子发生器


真空等离子清洗机

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