等离子表面处理利用氢来还原金属氧化物，等离子表面处理其反应产物H2O不会对环境产生任何负面影响，是一种符合人类社会可持续发展战略的绿色冶金过程。要使氢还原真正成为传统碳还原过程强有力的挑战者，必须找出强化氢还原反应的新方法和新技术。通过将分子态的氢气转化为等离子态的氢，改变参加还原化学反应氢的状态，从而利用低温等离子表面处理的化学特性可以在热力学和动力学层面上提高氢的还原能力。
等离子表面处理（点击了解详情）在非平衡氢等离子体中存在的主要活泼粒子包括H、H+、H2+和H3+，其中H的浓度最高，是主要的活泼粒子，其他粒子的浓度较小。通过热力学计算得出这几种等离子态氢粒子还原能力的大小顺序为:H+>H2+>H3+>H。氢等离子体中原子氢可以在比较低的温度下还原稳定的氧化物如Cr2O3，MnO，SiO2等。CuO在直流脉冲辉光氢等离子体中的还原实验结果表明，把分子态的氢转化为等离子态的氢能强化其还原金属氧化物的能力。
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