等离子表面处理机中的等离子气体作用

等离子体技术中，选用哪种气体是影响等离子表面处理机改性性能（点击了解详情）的重要参数。采用真空等离子表面处理机设备进行处理时，向真空室内通入不同的气体具有不同的性能。

采用非反应性等离子体的氢气、惰性气体只能将能量转移给表层分子，使其活化生成链自由基，该自由基进而相互反应生成表面交联层，等离子表面处理机使得表面的润湿性及反应性得以改善，弱边界层被强化；当采用反应性等离子体时，它们与表面发生氧化、淡化等反应，在表面生成大量的活性基团。氧等离子体是这一类型的代表，会在材料表面引入大量的含氧基团，如羧基、羰基、羟基等，从而改善表面化学活性而且表面因氧化分解被刻蚀。

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